Ausschreibung 300 mm D2W hybrid bonding tool (IZM-131.1)
Vergabe PR1254078-3460-P
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| Vertragspartei und Dienstleister | |
| Beschaffer | Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 Identifikationsnummer: DE 129515865 Internet-Adresse (URL): https://vergabe.fraunhofer.de/ Postanschrift: Hansastraße 27c Postleitzahl / Ort: 80686 München NUTS-3-Code: DE212 Land: Deutschland Kontaktstelle: Einkauf Betrieb und Infrastruktur E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de Telefon: +49891205-0 Art des öffentlichen Auftraggebers: Öffentliches Unternehmen Haupttätigkeiten des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung Beschafferprofil (URL): https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/ |
| Federführendes Mitglied: Ja Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen vergibt/abschließt: Nein Zentrale Beschaffungsstelle, die für andere Beschaffer bestimmte Lieferungen und/oder Dienstleistungen erwirbt: Nein |
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| Verfahren | |
| Zweck | |
| Rechtsgrundlage | Richtlinie 2014/24/EU |
| Beschreibung | Interne Kennung: PR1254078-3460-P Titel: 300 mm D2W hybrid bonding tool (IZM-131.1) Beschreibung: 300 mm D2W hybrid bonding tool (IZM-131.1) Art des Auftrags: Lieferungen |
| Umfang der Auftragsvergabe | |
| Hauptklassifizierung (CPV-Code) | |
| CPV-Code Hauptteil: 31712100-1 | |
| Erfüllungsort | Postleitzahl / Ort: 01468 Dresden-Moritzburg NUTS-3-Code: DED2E Land: Deutschland Zusätzliche Angaben zum Erfüllungsort: Reinraum - tbd nach Zuschlagserteilung & Absprache mit FhI |
| Bedingungen für die Einreichung eines Angebots | |
| Grundlage für den Ausschluss | Auftragsunterlagen, Bekanntmachung, Einheitliche Europäische Eigenerklärung (EEE) |
| Ausschlussgründe | Grund: Mit Insolvenz vergleichbares Verfahren Beschreibung: Grund: Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung Beschreibung: Grund: Bildung krimineller Vereinigungen Beschreibung: Grund: Wettbewerbsbeschränkende Vereinbarungen Beschreibung: Grund: Verstöße gegen umweltrechtliche Verpflichtungen Beschreibung: Grund: Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung Beschreibung: Grund: Betrug oder Subventionsbetrug Beschreibung: Grund: Menschenhandel, Zwangsprostitution, Zwangsarbeit oder Ausbeutung Beschreibung: Grund: Zahlungsunfähigkeit Beschreibung: Grund: Verstöße gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen Beschreibung: Grund: Insolvenz Beschreibung: Grund: Täuschung oder unzulässige Beeinflussung des Vergabeverfahrens Beschreibung: Grund: Interessenkonflikt Beschreibung: Grund: Wettbewerbsverzerrung wegen Vorbefassung Beschreibung: Grund: Schwere Verfehlung Beschreibung: Grund: Mangelhafte Erfüllung eines früheren öffentlichen Auftrags Beschreibung: Grund: Verstöße gegen sozialrechtliche Verpflichtungen Beschreibung: Grund: Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Sozialversicherungsbeiträgen Beschreibung: Grund: Einstellung der beruflichen Tätigkeit Beschreibung: Grund: Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Steuern oder Abgaben Beschreibung: Grund: Bildung terroristischer Vereinigungen Beschreibung: Grund: Rein nationale Ausschlussgründe Beschreibung: Es gelten alle einschlägigen zwingenden wie fakultativen Ausschlussgründe, die durch nationales Recht normiert sind. |
| Grenzübergreifende Rechtsvorschriften | |
| Einzelheiten zum Verfahrenstyp | |
| Verfahrensart | Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb |
| Zusätzliche Informationen | |
| Beschaffungsinformationen (allgemein) | |
| Vergabeverfahren | |
| Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren (Vorinformation, ...) | |
| Bedingungen der Auktion | Es wird eine elektronische Auktion durchgeführt: Nein |
| Auftragsvergabeverfahren | Rahmenvereinbarung geschlossen: Keine Rahmenvereinbarung |
| Angaben zum dynamischen Beschaffungssystem: Kein dynamisches Beschaffungssystem | |
| Bedingungen für die Einreichung eines Angebots | |
| Quelle der Eignungskriterien | Auftragsunterlagen, Bekanntmachung |
| Eignungskriterien | Referenzen zu bestimmten Arbeiten Beschreibung: Referenz von mindestens 10 Geräten / Projekten mit vergleichbarer technologi-scher Funktionalität im Hybridbond Be-reich nicht älter als 5 Jahre (Kurzbeschreibung Gerät, Pflichtangabe 300mm Wafergröße ja/nein, Kundennennung). Sollten Sie aus datenschutzrechtlichen Gründen Ihre Kunden nicht benennen dürfen, so kategorisieren Sie bitte Ihren Auftraggeber (Forschung, Industrie, andere öffentliche Auftraggeber) und be-stätigen Sie, dass Ihre Referenzen mit der ausgeschriebenen Leistung vergleichbar sind. *** ACHTUNG *** Sollten Sie aus datenschutzrechtlichen Gründen Ihre Ansprechpartner nicht benennen dürften, so kategorisieren Sie bitte Ihren Auftragsgeber (Forschung, Industrie, andere öffentliche Auftragsgeber) und bestätigen Sie, dass Ihre Referenzen mit der ausgeschriebenen Leistung vergleichbar sind. Durchschnittliche jährliche Belegschaft Beschreibung: Darstellung der Firma: Mindestangaben: Gründungsjahr, wichtige Meilensteine des Unternehmens, Anzahl der Mitarbeiter, was wird hergestellt / welche Leistungen werden erbracht -> Alle Angaben bitte in Textform; KEINE Links oder Bilder. Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen Beschreibung: 1. Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen nach § 123 und § 124 GWB 2. Eigenerklärung-Selfdeclaration (EU) Nr. 833/2014 Finanzkennzahlen Beschreibung: Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre. Hinweis: Dieses Kriterium ist NICHT das einzige Eignungskriterium. Die vollständigen Eignungskriterien finden Sie hier -> "2.1.4 Allgemeine Informationen" |
| Vorgehen zur Teilnehmerauswahl | Das Verfahren wird in mehreren aufeinanderfolgenden Phasen durchgeführt. In jeder Phase können einige Teilnehmer ausgeschlossen werden: Nein Höchstzahl der zur zweiten Phase des Verfahrens einzuladenden Bewerber: Mindestzahl der zur zweiten Phase des Verfahrens einzuladenden Bewerber: 3 |
| Zuschlag auf das Erstangebot | Der Auftraggeber behält sich den Zuschlag auf das Erstangebot vor: Nein |
| Weitere Bedingungen zur Qualifizierung | Nachforderung von Unterlagen: Die Nachforderung von Erklärungen, Unterlagen und Nachweisen ist nicht ausgeschlossen. Zusätzliche Informationen: Siehe Vergabeunterlagen |
| Vorbehaltene Auftragsvergabe | Die Teilnahme ist geschützten Werkstätten und Wirtschaftsteilnehmern, die auf die soziale und berufliche Integration von Menschen mit Behinderungen oder benachteiligten Personen abzielen, vorbehalten: Nein |
| Nebenangebote | Nebenangebote sind zulässig: Nein |
| Regelmäßig wiederkehrende Leistungen | |
| Auftrag über regelmäßig wiederkehrende Leistungen: Nein Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Ja |
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| Anforderungen für die Ausführung des Auftrags | |
| Reservierte Vertragsdurchführung | Die Auftragsausführung ist bestimmten Auftragnehmern vorbehalten: Nein |
| Leistungsbedingungen | Bedingungen für die Ausführung des Auftrags: Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter "Ausschreibungsbedingungen" aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen. |
| eRechnung | Elektronische Rechnungsstellung: Ja |
| Anforderungen | Die Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten Personals sind anzugeben: Nicht erforderlich |
| Verfahren nach der Vergabe | Aufträge werden elektronisch erteilt: Nein Zahlungen werden elektronisch geleistet: Nein |
| Organisation, die Angebote entgegennimmt | |
| Informationen zur Einreichung | |
| Fristen | |
| Voraussichtliches Datum der Absendung der Aufforderungen zur Angebotseinreichung: 02.10.2026 Frist für den Eingang der Teilnahmeanträge: 01.09.2026 08:00 Uhr |
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| Sprachen der Einreichung | Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: DEU |
| Öffnung der Angebote | |
| -ENTFÄLLT- | |
| Einreichungsmethode | Elektronische Einreichung zulässig: Ja Adresse für die Einreichung (URL): https://vergabe.fraunhofer.de |
| Auftragsunterlagen | Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter (URL): https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-19facb36955-72ae1a93cc2c3b07
Verbindliche Sprachfassung der Vergabeunterlagen: DEU |
| Ad-hoc-Kommunikationskanal | |
| Organisation, die zusätzliche Informationen bereitstellt | oben genannte Kontaktstelle |
| Überprüfung | |
| Fristen für Nachprüfungsverfahren | Informationen über die Überprüfungsfristen: Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB). |
| Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren | Offizielle Bezeichnung: Vergabekammern des Bundes Identifikationsnummer: t:022894990 Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16 Postleitzahl / Ort: 53113 Bonn NUTS-3-Code: DEA22 Land: Deutschland E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de Telefon: +49 228 9499-0 |
| Organisation, die Nachprüfungsinformationen bereitstellt | Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Identifikationsnummer: DE-129515865 Internet-Adresse: (URL) https://www.fraunhofer.de Postanschrift: Hansastraße 27c Postleitzahl / Ort: 80686 München NUTS-3-Code: DE212 Land: Deutschland E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de Telefon: +49 89 1205-0 |
| Schlichtungsstelle | |
| Beschaffungsinformationen (speziell) | |
| Vergabeverfahren | |
| Beschreibung der Beschaffung | Beschreibung: 1x 300 mm D2W hybrid bonding tool (IZM-131.1) Der Zweck dieser Gerätespezifikation besteht darin, die Anforderungen für das automatisierte D2W-Bonding zur heterogenen 2,5D-/3D-QMI- und Chiplet-Integration zu definieren, das eine Verbindung mit einer Genauigkeit von +/- 200 nm auf einem 300-mm-Wafer ermöglicht. Diese Anlage ist in der Lage, folgende Prozessschritte auszuführen: 1) Automatisches Be- und Entladen der gewünschten Wafer aus einer 12-Zoll-Tape-Frame-Kassette und von 12-Zoll-Wafern aus einem Wafer-FOUP; 2) Auslesen der Wafer- und Tape-Frame-ID; 3) Automatisches Zuführen von Wafern auf den Spannfutter und von Tape-Frames in die Bond-Einheit; 4) Aufnehmen von Dies (Bauteilen) aus dem Tape-Frame, optionales Wenden und präzises Bonden auf den Wafer oder das Die. Die Programmierung und Bedienung muss innerhalb eines angemessenen Bereichs von Optionen und Parametern möglich sein, wie es für Forschung und Entwicklung erforderlich ist. Detaillierte Spezifikationen der einzelnen Module finden Sie weiter unten. |
| Umfang der Auftragsvergabe | Diese Auftragsvergabe ist besonders auch geeignet für kleinste, kleine und mittlere Unternehmen (KMU): Nein |
| Art der Auftragsvergabe | Art der strategischen Beschaffung: |
| Erfüllungsort | |
| Geschätzte Laufzeit | Laufzeit in Tagen: 60 |
| Verlängerungen und Optionen | |
| Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen | Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: Ja |
| Verwendung von EU-Mitteln | Die Auftragsvergabe wird zumindest teilweise aus Mitteln der Europäischen Union finanziert: Ja |
| Zusätzliche Informationen | |
| Bedingungen für die Einreichung eines Angebots | |
| Zuschlagskriterien | Qualitätskriterium Technische Ausführung, Beschreibung: Technische Ausführung, Gewichtung: 65,00 Preis, Beschreibung: Bewertet wird der Gesamtpreis inkl. aller Nebenkosten über die Laufzeit, Gewichtung: 35,00 |
| Informationen über die Anwendbarkeit von EED | EED anwendbar: Nein |
| Elektronischer Katalog | Elektronischer Katalog: Nein |
| Informationen zur Richtlinie über saubere Fahrzeuge | Die Auftragsvergabe fällt in den Anwendungsbereich der Richtlinie 2009/33/EG des Europäischen Parlaments und des Rates (Richtlinie zur Förderung sauberer Fahrzeuge - CVD): Nein |