Ausschreibung Waferreiniger / Maskenreiniger (IAF-08.3)
Vergabe PR1146362-2050-P
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| Vertragspartei und Dienstleister | |
| Beschaffer | Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 Identifikationsnummer: DE 129515865 Internet-Adresse (URL): https://vergabe.fraunhofer.de/ Postanschrift: Hansastraße 27c Postleitzahl / Ort: 80686 München NUTS-3-Code: DE212 Land: Deutschland Kontaktstelle: Einkauf Betrieb und Infrastruktur E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de Telefon: +49891205-0 Art des öffentlichen Auftraggebers: Öffentliches Unternehmen Haupttätigkeiten des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung Beschafferprofil (URL): https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/ |
| Federführendes Mitglied: Ja Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen vergibt/abschließt: Nein Zentrale Beschaffungsstelle, die für andere Beschaffer bestimmte Lieferungen und/oder Dienstleistungen erwirbt: Nein |
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| Verfahren | |
| Zweck | |
| Rechtsgrundlage | Richtlinie 2014/24/EU |
| Beschreibung | Interne Kennung: PR1146362-2050-P Titel: Waferreiniger / Maskenreiniger (IAF-08.3) Beschreibung: Waferreiniger / Maskenreiniger (IAF-08.3) Art des Auftrags: Lieferungen |
| Umfang der Auftragsvergabe | |
| Hauptklassifizierung (CPV-Code) | |
| CPV-Code Hauptteil: 42900000-5 | |
| Erfüllungsort | Postanschrift: Tullastr. 72 Postleitzahl / Ort: 79108 Freiburg NUTS-3-Code: DE131 Land: Deutschland |
| Bedingungen für die Einreichung eines Angebots | |
| Grundlage für den Ausschluss | Auftragsunterlagen, Bekanntmachung, Einheitliche Europäische Eigenerklärung (EEE) |
| Ausschlussgründe | Grund: Mit Insolvenz vergleichbares Verfahren Beschreibung: Grund: Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung Beschreibung: Grund: Bildung krimineller Vereinigungen Beschreibung: Grund: Wettbewerbsbeschränkende Vereinbarungen Beschreibung: Grund: Verstöße gegen umweltrechtliche Verpflichtungen Beschreibung: Grund: Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung Beschreibung: Grund: Betrug oder Subventionsbetrug Beschreibung: Grund: Menschenhandel, Zwangsprostitution, Zwangsarbeit oder Ausbeutung Beschreibung: Grund: Zahlungsunfähigkeit Beschreibung: Grund: Verstöße gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen Beschreibung: Grund: Insolvenz Beschreibung: Grund: Täuschung oder unzulässige Beeinflussung des Vergabeverfahrens Beschreibung: Grund: Interessenkonflikt Beschreibung: Grund: Wettbewerbsverzerrung wegen Vorbefassung Beschreibung: Grund: Schwere Verfehlung Beschreibung: Grund: Mangelhafte Erfüllung eines früheren öffentlichen Auftrags Beschreibung: Grund: Verstöße gegen sozialrechtliche Verpflichtungen Beschreibung: Grund: Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Sozialversicherungsbeiträgen Beschreibung: Grund: Einstellung der beruflichen Tätigkeit Beschreibung: Grund: Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Steuern oder Abgaben Beschreibung: Grund: Bildung terroristischer Vereinigungen Beschreibung: Grund: Rein nationale Ausschlussgründe Beschreibung: Es gelten alle einschlägigen zwingenden wie fakultativen Ausschlussgründe, die durch nationales Recht normiert sind. |
| Grenzübergreifende Rechtsvorschriften | |
| Einzelheiten zum Verfahrenstyp | |
| Verfahrensart | Verfahrensart: Offenes Verfahren |
| Zusätzliche Informationen | |
| Beschaffungsinformationen (allgemein) | |
| Vergabeverfahren | |
| Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren (Vorinformation, ...) | |
| Bedingungen der Auktion | Es wird eine elektronische Auktion durchgeführt: Nein |
| Auftragsvergabeverfahren | Rahmenvereinbarung geschlossen: Keine Rahmenvereinbarung |
| Angaben zum dynamischen Beschaffungssystem: Kein dynamisches Beschaffungssystem | |
| Bedingungen für die Einreichung eines Angebots | |
| Quelle der Eignungskriterien | Auftragsunterlagen, Bekanntmachung |
| Eignungskriterien | Referenzen zu bestimmten Arbeiten Beschreibung: Min. 3 Referenzen (nicht älter als 3 Jahre) für gleiche oder vergleichbare Anlagen zum Reinigen von Masken und/oder Wafern. Als vergleichbare Anlagen gelten Anlagen, die mit Hilfe von wässrigen Lösungen Wafer und/oder Masken/Reticle von Partikeln und Verunreinigungen reinigen (s. Leistungsverzeichnis). Nennung von: -Kundennamen -Kategorie des Kunden (Forschung, Industrie, etc.) -Kurzbeschreibung des Gerätes -Einsatzzweck des Geräts Durchschnittliche jährliche Belegschaft Beschreibung: Darstellung der Firma Mindestangaben: Gründungsjahr, wichtige Meilensteine des Unternehmens, Anzahl der Mitarbeiter, was wird hergestellt / welche Leistungen werden erbracht --> Alle Angaben bitte in Textform, KEINE Links oder Bilder. Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen Beschreibung: 1. Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen nach §123 und § 124 GWB 2. Eigenerklärung-Selfdeclaration (EU) Nr. 833/2014 Finanzkennzahlen Beschreibung: Umsatz in der Produktsparte "Halbleiterfertigungsgeräte" Es ist der jährliche Umsatz in der Produktsparte "Halbleiterfertigungsgeräte" für jedes der letzten drei abgeschlossenen Geschäftsjahre anzugeben. Mindestanforderung: Aus den angegebenen Jahresumsätzen bildet der Auftraggeber den durchschnittlichen jährlichen Umsatz (arithmetisches Mittel) der letzten drei abgeschlossenen Geschäftsjahre. Dieser Durchschnittswert muss mindestens 450.000 € betragen. Wird dieser Durchschnittswert nicht erreicht, gilt die Mindestanforderung als nicht erfüllt. |
| Weitere Bedingungen zur Qualifizierung | Nachforderung von Unterlagen: Die Nachforderung von Erklärungen, Unterlagen und Nachweisen ist nicht ausgeschlossen. Zusätzliche Informationen: Siehe Vergabeunterlagen |
| Vorbehaltene Auftragsvergabe | Die Teilnahme ist geschützten Werkstätten und Wirtschaftsteilnehmern, die auf die soziale und berufliche Integration von Menschen mit Behinderungen oder benachteiligten Personen abzielen, vorbehalten: Nein |
| Nebenangebote | Nebenangebote sind zulässig: Nein |
| Regelmäßig wiederkehrende Leistungen | |
| Auftrag über regelmäßig wiederkehrende Leistungen: Nein Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Ja |
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| Anforderungen für die Ausführung des Auftrags | |
| Reservierte Vertragsdurchführung | Die Auftragsausführung ist bestimmten Auftragnehmern vorbehalten: Nein |
| Leistungsbedingungen | Bedingungen für die Ausführung des Auftrags: Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter "Ausschreibungsbedingungen" aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen. |
| eRechnung | Elektronische Rechnungsstellung: Ja |
| Anforderungen | Die Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten Personals sind anzugeben: Nicht erforderlich |
| Verfahren nach der Vergabe | Aufträge werden elektronisch erteilt: Nein Zahlungen werden elektronisch geleistet: Nein |
| Organisation, die Angebote entgegennimmt | |
| Informationen zur Einreichung | |
| Fristen | |
| Frist für den Eingang der Angebote: 05.05.2026 09:30 Uhr | |
| Bindefrist | Laufzeit in Tagen: 56 (ab dem Schlusstermin für den Eingang der Angebote) |
| Sprachen der Einreichung | Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: DEU, ENG |
| Öffnung der Angebote | |
| Datum/Zeitpunkt des Eröffnungstermins: 05.05.2026 09:30 Uhr | |
| Einreichungsmethode | Elektronische Einreichung zulässig: Ja Adresse für die Einreichung (URL): https://vergabe.fraunhofer.de |
| Auftragsunterlagen | Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter (URL): https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-19caecb896a-5dc2f1a28741b4a2
Verbindliche Sprachfassung der Vergabeunterlagen: DEU |
| Ad-hoc-Kommunikationskanal | |
| Organisation, die zusätzliche Informationen bereitstellt | oben genannte Kontaktstelle |
| Überprüfung | |
| Fristen für Nachprüfungsverfahren | Informationen über die Überprüfungsfristen: Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB). |
| Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren | Offizielle Bezeichnung: Vergabekammern des Bundes Identifikationsnummer: t:022894990 Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16 Postleitzahl / Ort: 53113 Bonn NUTS-3-Code: DEA22 Land: Deutschland E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de Telefon: +49 228 9499-0 |
| Organisation, die Nachprüfungsinformationen bereitstellt | Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Identifikationsnummer: DE-129515865 Internet-Adresse: (URL) https://www.fraunhofer.de Postanschrift: Hansastraße 27c Postleitzahl / Ort: 80686 München NUTS-3-Code: DE212 Land: Deutschland E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de Telefon: +49 89 1205-0 |
| Schlichtungsstelle | |
| Beschaffungsinformationen (speziell) | |
| Vergabeverfahren | |
| Beschreibung der Beschaffung | Beschreibung: 1 Stück Waferreiniger / Maskenreiniger (IAF-08.3) Beschafft werden soll ein Wafer- und Maskenreinigungsgerät, das in einem Reinraum der ISO-Klasse 4 aufgestellt werden soll und den europäischen Sicherheitsvorschriften für Industrieanlagen entsprechen muss. In der Anlage sollen Wafer und Lithographie-Masken in Anlehnung an den RCA-Reinigungsprozess mit Hilfe wässriger und saurer Lösungen von Partikeln und Verschmutzungen befreit werden. Um sicheres Arbeiten und eine hohe Langlebigkeit zu gewährleisten, muss die Prozesskammer aus prozessmedienresistentem Material gefertigt sein und über eine Absaugung sowie eine Leckageerkennung verfügen. Die Anlage muss in der Lage sein, Partikel größer als 250 nm zuverlässig von (Quarz-)Glas oder Wafern zu entfernen, um die für die Prozesse im Reinraum des Fraunhofer IAF erforderliche Reinheit sicherzustellen und die Prozessausbeute nicht zu beeinträchtigen. |
| Umfang der Auftragsvergabe | Diese Auftragsvergabe ist besonders auch geeignet für kleinste, kleine und mittlere Unternehmen (KMU): Nein |
| Art der Auftragsvergabe | Art der strategischen Beschaffung: |
| Erfüllungsort | |
| Geschätzte Laufzeit | Laufzeit in Monaten: 14 |
| Verlängerungen und Optionen | |
| Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen | Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: Ja |
| Verwendung von EU-Mitteln | Die Auftragsvergabe wird zumindest teilweise aus Mitteln der Europäischen Union finanziert: Nein |
| Zusätzliche Informationen | |
| Bedingungen für die Einreichung eines Angebots | |
| Zuschlagskriterien | Qualitätskriterium Technik, Beschreibung: Technik, Gewichtung: 65,00 Preis, Beschreibung: Preis, Gewichtung: 35,00 |
| Informationen über die Anwendbarkeit von EED | EED anwendbar: Nein |
| Elektronischer Katalog | Elektronischer Katalog: Nein |
| Informationen zur Richtlinie über saubere Fahrzeuge | Die Auftragsvergabe fällt in den Anwendungsbereich der Richtlinie 2009/33/EG des Europäischen Parlaments und des Rates (Richtlinie zur Förderung sauberer Fahrzeuge - CVD): Nein |