Ausschreibung Precise local milling & polishing System (IMWS-07.1)

Vergabe PR1068383-2690-P



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Vertragspartei und Dienstleister
BeschafferOffizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Identifikationsnummer: DE 129515865
Internet-Adresse (URL): https://vergabe.fraunhofer.de/
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postleitzahl / Ort: 80686 München
NUTS-3-Code: DE212
Land: Deutschland
Kontaktstelle: Einkauf Betrieb und Infrastruktur
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de
Telefon: +49891205-0
Art des öffentlichen Auftraggebers: Öffentliches Unternehmen
Haupttätigkeiten des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung
Beschafferprofil (URL): https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/
 Federführendes Mitglied: Ja
Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen vergibt/abschließt: Ja
Zentrale Beschaffungsstelle, die für andere Beschaffer bestimmte Lieferungen und/oder Dienstleistungen erwirbt: Nein
Verfahren
Zweck  
RechtsgrundlageRichtlinie 2014/24/EU
BeschreibungInterne Kennung: PR1068383-2690-P
Titel: Precise local milling & polishing System (IMWS-07.1)
Beschreibung: Precise local milling & polishing System (IMWS-07.1)
Art des Auftrags: Lieferungen
Umfang der Auftragsvergabe  
Hauptklassifizierung (CPV-Code)  
 CPV-Code Hauptteil: 33136000-2
   
ErfüllungsortPostleitzahl / Ort: 06120 Halle
NUTS-3-Code: DEE02
Land: Deutschland
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots  
Grundlage für den AusschlussAuftragsunterlagen, Bekanntmachung, Einheitliche Europäische Eigenerklärung (EEE)
AusschlussgründeGrund: Mit Insolvenz vergleichbares Verfahren
Beschreibung:

Grund: Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung
Beschreibung:

Grund: Bildung krimineller Vereinigungen
Beschreibung:

Grund: Wettbewerbsbeschränkende Vereinbarungen
Beschreibung:

Grund: Verstöße gegen umweltrechtliche Verpflichtungen
Beschreibung:

Grund: Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung
Beschreibung:

Grund: Betrug oder Subventionsbetrug
Beschreibung:

Grund: Menschenhandel, Zwangsprostitution, Zwangsarbeit oder Ausbeutung
Beschreibung:

Grund: Zahlungsunfähigkeit
Beschreibung:

Grund: Verstöße gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen
Beschreibung:

Grund: Insolvenz
Beschreibung:

Grund: Täuschung oder unzulässige Beeinflussung des Vergabeverfahrens
Beschreibung:

Grund: Interessenkonflikt
Beschreibung:

Grund: Wettbewerbsverzerrung wegen Vorbefassung
Beschreibung:

Grund: Schwere Verfehlung
Beschreibung:

Grund: Mangelhafte Erfüllung eines früheren öffentlichen Auftrags
Beschreibung:

Grund: Verstöße gegen sozialrechtliche Verpflichtungen
Beschreibung:

Grund: Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Sozialversicherungsbeiträgen
Beschreibung:

Grund: Einstellung der beruflichen Tätigkeit
Beschreibung:

Grund: Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Steuern oder Abgaben
Beschreibung:

Grund: Bildung terroristischer Vereinigungen
Beschreibung:

Grund: Rein nationale Ausschlussgründe
Beschreibung: Es gelten alle einschlägigen zwingenden wie fakultativen Ausschlussgründe, die durch nationales Recht normiert sind.
Grenzübergreifende Rechtsvorschriften  
Einzelheiten zum Verfahrenstyp  
VerfahrensartVerfahrensart: Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb
Zusätzliche Informationen  
Beschaffungsinformationen (allgemein)
Vergabeverfahren  
Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren (Vorinformation, ...)  
Bedingungen der AuktionEs wird eine elektronische Auktion durchgeführt: Nein
AuftragsvergabeverfahrenRahmenvereinbarung geschlossen: Keine Rahmenvereinbarung
 Angaben zum dynamischen Beschaffungssystem: Kein dynamisches Beschaffungssystem
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots  
Quelle der EignungskriterienAuftragsunterlagen, Bekanntmachung
EignungskriterienReferenzen zu bestimmten Arbeiten
Beschreibung: Referenz von mindestens 3 vergleichbaren Projekten (Kurzbeschreibung, Gerät, Kundennennung) nicht älter als aus dem Jahr 2022
***Achtung***
Sollten Sie aus Datenschutzrechtlichen Gründen Ihrer Ansprechpartner nicht benennen dürfen, so kategorisieren Sie bitte Ihren Auftraggeber (Forschung, Industrie, andere öffentliche Auftraggeber) und bestätigen Sie, dass Ihre Referenzen mit der ausgeschriebenen Leistung vergleichbar sind.

Durchschnittliche jährliche Belegschaft
Beschreibung: Darstellung der Firma
Mindestangaben: Gründungsjahr, wichtige Meilensteine des Unternehmens, Anzahl
der Mitarbeiter, was wird hergestellt / welche Leistungen werden erbracht --> Alle Angaben bitte in Textform, KEINE Links oder Bilder.

Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Beschreibung: Eigenerklärung GWB + Eigenerklärung Russland
1. Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen nach § 123 und § 124 GWB
2. Eigenerklärung-Selfdeclaration (EU) Nr. 833/2014

Finanzkennzahlen
Beschreibung: Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre
https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-19b35e11973-1f7b493f84330667
Vorgehen zur TeilnehmerauswahlDas Verfahren wird in mehreren aufeinanderfolgenden Phasen durchgeführt. In jeder Phase können einige Teilnehmer ausgeschlossen werden: Nein
Höchstzahl der zur zweiten Phase des Verfahrens einzuladenden Bewerber:
Mindestzahl der zur zweiten Phase des Verfahrens einzuladenden Bewerber: 3
Zuschlag auf das ErstangebotDer Auftraggeber behält sich den Zuschlag auf das Erstangebot vor: Nein
Weitere Bedingungen zur QualifizierungNachforderung von Unterlagen: Die Nachforderung von Erklärungen, Unterlagen und Nachweisen ist nicht ausgeschlossen.
Zusätzliche Informationen: Siehe Vergabeunterlagen
Vorbehaltene AuftragsvergabeDie Teilnahme ist geschützten Werkstätten und Wirtschaftsteilnehmern, die auf die soziale und berufliche Integration von Menschen mit Behinderungen oder benachteiligten Personen abzielen, vorbehalten: Nein
NebenangeboteNebenangebote sind zulässig: Nein
Regelmäßig wiederkehrende Leistungen  
 Auftrag über regelmäßig wiederkehrende Leistungen: Nein
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Ja
Anforderungen für die Ausführung des Auftrags  
Reservierte VertragsdurchführungDie Auftragsausführung ist bestimmten Auftragnehmern vorbehalten: Nein
LeistungsbedingungenBedingungen für die Ausführung des Auftrags: Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter "Ausschreibungsbedingungen" aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
eRechnungElektronische Rechnungsstellung: Ja
AnforderungenDie Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten Personals sind anzugeben: Nicht erforderlich
Verfahren nach der VergabeAufträge werden elektronisch erteilt: Nein
Zahlungen werden elektronisch geleistet: Nein
Organisation, die Angebote entgegennimmt  
Informationen zur Einreichung  
Fristen  
 Frist für den Eingang der Teilnahmeanträge: 26.01.2026 13:00 Uhr
Sprachen der EinreichungSprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: DEU
Öffnung der Angebote  
 -ENTFÄLLT-
EinreichungsmethodeElektronische Einreichung zulässig: Ja
Adresse für die Einreichung (URL): https://vergabe.fraunhofer.de
AuftragsunterlagenDie Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter (URL): https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-19b35e11973-1f7b493f84330667
Verbindliche Sprachfassung der Vergabeunterlagen: DEU
Ad-hoc-Kommunikationskanal  
Organisation, die zusätzliche Informationen bereitstelltoben genannte Kontaktstelle
Überprüfung  
Fristen für NachprüfungsverfahrenInformationen über die Überprüfungsfristen: Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
Stelle für Rechtsbehelfs-/NachprüfungsverfahrenOffizielle Bezeichnung: Vergabekammern des Bundes
Identifikationsnummer: t:022894990
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16
Postleitzahl / Ort: 53113 Bonn
NUTS-3-Code: DEA22
Land: Deutschland
E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de
Telefon: +49 228 9499-0
Organisation, die Nachprüfungsinformationen bereitstelltOffizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Identifikationsnummer: DE-129515865
Internet-Adresse: (URL) https://www.fraunhofer.de
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postleitzahl / Ort: 80686 München
NUTS-3-Code: DE212
Land: Deutschland
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de
Telefon: +49 89 1205-0
Schlichtungsstelle  
Beschaffungsinformationen (speziell)
Vergabeverfahren  
Beschreibung der BeschaffungBeschreibung: 1 Stück Precise local milling & polishing System (IMWS-07.1)

Das Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS erforscht das Anwendungsverhalten, die Zuverlässigkeit, die Sicherheit und die Lebensdauer innovativer Werkstoffe in Bauteilen und Systemen. Der Geschäftsbereich "Elektronische Werkstoffe und Bauelemente" des Fraunhofer IMWS unterstützt Industrie- und Forschungspartner mit seiner international anerkannten Expertise in der Fehleranalyse elektronischer Bauteile. Das Fraunhofer IMWS wird seine Kompetenzen in der fortgeschrittenen Fehleranalyse und Materialcharakterisierung weiter ausbauen, um den Hochlauf neuer heterogener Integrationstechnologien zu unterstützen und so die Herausforderungen in Fertigung und Zuverlässigkeit zu bewältigen.

Für eine präzise mechanische Präparation wird ein spezielles Depackaging-Werkzeug vorgeschlagen. Das System muss eine 5-Achs-CNC-Präzisionsschleifmaschine zur mechanischen Präparation mikroelektronischer Bauelemente sein. Das CNC-System muss als orthogonales XYZ-System aufgebaut sein, wobei die zu präparierende Probe in XY-Richtung fixiert ist und zwei zusätzliche Kippmechanismen für die X- und Y-Achse vorhanden sind.

Zur Bestimmung der Restdicke des gefrästen Substrats (z. B. Silizium) ist ein zweites Werkzeug zur Messung durch das Substrat hindurch erforderlich. Dies kann optisch erfolgen. Da Silizium nur bei einer Dicke von weniger als 1µm im sichtbaren Spektrum transparent ist, ist ein optisches Dickenmessgerät im Wellenlängenbereich von Infrarot und im sichtbaren Bereich erforderlich.

Optionen:
1.1.9. Allgemeine Gerätespezifikationen (optional): Das System muss mit einem optischen, berührungslosen Messsystem ausgestattet sein, um die Probenausrichtung mittels Dreipunkt-Ausrichtung in vertikaler Richtung und Neigungskompensation in X- und Y-Richtung zu bestimmen, sodass die Probe perfekt senkrecht zur Frässpindel ausgerichtet ist.

1.1.11. Allgemeine Gerätespezifikationen (optional): Ein zusätzlicher Probenhalter muss angeboten werden.

1.3.4. Spindelspezifikationen (optional): Pneumatischer oder elektrischer Werkzeugwechsler für den schnellen und werkzeuglosen Wechsel von Fräs- oder Poliermaterialien.

1.5.2. Live-Probenkontrolle (optional): Zusätzliche Kameras zur Live-Überwachung des Fräsfortschritts.

1.8.1. System zur Staub- und Partikelabsaugung während des Fräsprozesses: "Zur Entfernung von Staub und Partikeln während des Trockenfräsens muss ein Vakuum-Staubabsaugsystem angeboten werden. Es muss mit einem HEPA-Filtersystem mindestens der Klasse H13 ausgestattet sein. Das System muss mit 230 V / 50 Hz betrieben werden."

1.8.2. System zur Abscheidung von Staub und Partikeln während des Mahlvorgangs. Zur Entsorgung der verbrauchten Suspension muss ein Kreislaufsystem zur Zufuhr von Frischwasser oder Mahlflüssigkeit am Mahlort bereitgestellt werden.
Umfang der AuftragsvergabeDiese Auftragsvergabe ist besonders auch geeignet für kleinste, kleine und mittlere Unternehmen (KMU): Ja
Besonders auch geeignet für sonstige KMU
Art der AuftragsvergabeArt der strategischen Beschaffung:
Erfüllungsort  
Geschätzte LaufzeitLaufzeit in Monaten: 10
Verlängerungen und Optionen  
Übereinkommen über das öffentliche BeschaffungswesenDie Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: Ja
Verwendung von EU-MittelnDie Auftragsvergabe wird zumindest teilweise aus Mitteln der Europäischen Union finanziert: Nein
Zusätzliche Informationen  
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots  
ZuschlagskriterienQualitätskriterium
Technische Ausführung, Beschreibung: Technische Ausführung, Gewichtung: 65,00

Preis, Beschreibung: Preis, Gewichtung: 35,00
Informationen über die Anwendbarkeit von EEDEED anwendbar: Nein
Elektronischer KatalogElektronischer Katalog: Nein
Informationen zur Richtlinie über saubere FahrzeugeDie Auftragsvergabe fällt in den Anwendungsbereich der Richtlinie 2009/33/EG des Europäischen Parlaments und des Rates (Richtlinie zur Förderung sauberer Fahrzeuge - CVD): Nein