Ausschreibung 3D LIT-OBIRCH system (IMWS-2.1) +Scanning Electron Microscope with ultrafast e-beam operation (IMWS-3.1 )
Vergabe PR876527-2690-P
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| Vertragspartei und Dienstleister | |
| Beschaffer | Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 Identifikationsnummer: DE 129515865 Internet-Adresse (URL): https://vergabe.fraunhofer.de/ Postanschrift: Hansastraße 27c Postleitzahl / Ort: 80686 München NUTS-3-Code: DE212 Land: Deutschland Kontaktstelle: Einkauf Betrieb und Infrastruktur E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de Telefon: +49891205-0 Art des öffentlichen Auftraggebers: Öffentliches Unternehmen Haupttätigkeiten des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung Beschafferprofil (URL): https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/ |
| Federführendes Mitglied: Ja Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen vergibt/abschließt: Ja Zentrale Beschaffungsstelle, die für andere Beschaffer bestimmte Lieferungen und/oder Dienstleistungen erwirbt: Nein |
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| Verfahren | |
| Zweck | |
| Rechtsgrundlage | Richtlinie 2014/24/EU |
| Beschreibung | Interne Kennung: PR876527-2690-P Titel: 3D LIT-OBIRCH system (IMWS-2.1) +Scanning Electron Microscope with ultrafast e-beam operation (IMWS-3.1 ) Beschreibung: 3D LIT-OBIRCH system (IMWS-2.1) +Scanning Electron Microscope with ultrafast e-beam operation (IMWS-3.1 ) Art des Auftrags: Lieferungen |
| Umfang der Auftragsvergabe | |
| Hauptklassifizierung (CPV-Code) | |
| CPV-Code Hauptteil: 38511100-1 | |
| Weitere CPV-Code Hauptteile: 38512100-8 | |
| Ort, an dem die Beschaffung für das gesamte Verfahren stattfinden soll | Postleitzahl / Ort: 06120 Halle NUTS-3-Code: DEE02 Land: Deutschland |
| Bedingungen für die Einreichung eines Angebots | |
| Grundlage für den Ausschluss | Bekanntmachung |
| Ausschlussgründe | Grund: Mit Insolvenz vergleichbares Verfahren Beschreibung: Grund: Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung Beschreibung: Grund: Bildung krimineller Vereinigungen Beschreibung: Grund: Wettbewerbsbeschränkende Vereinbarungen Beschreibung: Grund: Verstöße gegen umweltrechtliche Verpflichtungen Beschreibung: Grund: Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung Beschreibung: Grund: Betrug oder Subventionsbetrug Beschreibung: Grund: Menschenhandel, Zwangsprostitution, Zwangsarbeit oder Ausbeutung Beschreibung: Grund: Zahlungsunfähigkeit Beschreibung: Grund: Verstöße gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen Beschreibung: Grund: Insolvenz Beschreibung: Grund: Täuschung oder unzulässige Beeinflussung des Vergabeverfahrens Beschreibung: Grund: Interessenkonflikt Beschreibung: Grund: Wettbewerbsverzerrung wegen Vorbefassung Beschreibung: Grund: Schwere Verfehlung Beschreibung: Grund: Mangelhafte Erfüllung eines früheren öffentlichen Auftrags Beschreibung: Grund: Verstöße gegen sozialrechtliche Verpflichtungen Beschreibung: Grund: Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Sozialversicherungsbeiträgen Beschreibung: Grund: Einstellung der beruflichen Tätigkeit Beschreibung: Grund: Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Steuern oder Abgaben Beschreibung: Grund: Bildung terroristischer Vereinigungen Beschreibung: |
| Grenzübergreifende Rechtsvorschriften | |
| Einzelheiten zum Verfahrenstyp | |
| Verfahrensart | Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb |
| Angebote für alle Lose erforderlich: Nein | |
| Zusätzliche Informationen | |
| Losverteilung | |
| Höchstzahl an Losen | Höchstzahl der Lose, für die ein Bieter Angebote einreichen kann: 2 Höchstzahl der Lose, für die Aufträge an einen Bieter vergeben werden können: 2 |
| Beschaffungsinformationen (allgemein) | |
| Vergabeverfahren | |
| Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren (Vorinformation, ...) | |
| Bedingungen der Auktion | Es wird eine elektronische Auktion durchgeführt: Nein |
| Auftragsvergabeverfahren | Rahmenvereinbarung geschlossen: Keine Rahmenvereinbarung |
| Angaben zum dynamischen Beschaffungssystem: Kein dynamisches Beschaffungssystem | |
| Bedingungen für die Einreichung eines Angebots | |
| Quelle der Auswahlkriterien | Bekanntmachung |
| Eignungskriterien | Finanzkennzahlen Beschreibung: Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre |
| Vorgehen zur Teilnehmerauswahl | Das Verfahren wird in mehreren aufeinanderfolgenden Phasen durchgeführt. In jeder Phase können einige Teilnehmer ausgeschlossen werden: Nein Höchstzahl der zur zweiten Phase des Verfahrens einzuladenden Bewerber: Mindestzahl der zur zweiten Phase des Verfahrens einzuladenden Bewerber: 3 |
| Zuschlag auf das Erstangebot | Der Auftraggeber behält sich den Zuschlag auf das Erstangebot vor: Nein |
| Weitere Bedingungen zur Qualifizierung | Nachforderung von Unterlagen: Eine Nachforderung von Unterlagen nach Fristablauf ist nicht ausgeschlossen. Zusätzliche Informationen: Siehe Vergabeunterlagen |
| Vorbehaltene Auftragsvergabe | Die Teilnahme ist geschützten Werkstätten und Wirtschaftsteilnehmern, die auf die soziale und berufliche Integration von Menschen mit Behinderungen oder benachteiligten Personen abzielen, vorbehalten: Nein |
| Nebenangebote | Nebenangebote sind zulässig: Nein |
| Regelmäßig wiederkehrende Leistungen | |
| Auftrag über regelmäßig wiederkehrende Leistungen: Nein Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Ja |
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| Anforderungen für die Ausführung des Auftrags | |
| Reservierte Vertragsdurchführung | Die Auftragsausführung ist bestimmten Auftragnehmern vorbehalten: Nein |
| Leistungsbedingungen | Bedingungen für die Ausführung des Auftrags: Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter "Ausschreibungsbedingungen" aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen. |
| eRechnung | Elektronische Rechnungsstellung: Ja |
| Anforderungen | Die Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten Personals sind anzugeben: Nicht erforderlich |
| Verfahren nach der Vergabe | Aufträge werden elektronisch erteilt: Ja Zahlungen werden elektronisch geleistet: Nein |
| Organisation, die Angebote entgegennimmt | |
| Informationen zur Einreichung | |
| Fristen | |
| Frist für den Eingang der Teilnahmeanträge: 27.05.2025 10:00 Uhr | |
| Sprachen der Einreichung | Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: DEU |
| Öffnung der Angebote | |
| -ENTFÄLLT- | |
| Einreichungsmethode | Elektronische Einreichung zulässig: Ja Adresse für die Einreichung (URL): https://vergabe.fraunhofer.de |
| Auftragsunterlagen | Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter (URL): https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-195fc2ea685-48e83682e3e228ed&
Verbindliche Sprachfassung der Vergabeunterlagen: DEU |
| Ad-hoc-Kommunikationskanal | |
| Organisation, die zusätzliche Informationen bereitstellt | oben genannte Kontaktstelle |
| Überprüfung | |
| Fristen für Nachprüfungsverfahren | Informationen über die Überprüfungsfristen: Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB). |
| Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren | Offizielle Bezeichnung: Vergabekammern des Bundes Identifikationsnummer: t:022894990 Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16 Postleitzahl / Ort: 53113 Bonn NUTS-3-Code: DEA22 Land: Deutschland E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de Telefon: +49 228 9499-0 |
| Organisation, die Nachprüfungsinformationen bereitstellt | Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Identifikationsnummer: DE-129515865 Internet-Adresse: (URL) https://www.fraunhofer.de Postanschrift: Hansastraße 27c Postleitzahl / Ort: 80686 München NUTS-3-Code: DE212 Land: Deutschland E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de Telefon: +49 89 1205-0 |
| Schlichtungsstelle | |
| Beschaffungsinformationen (Los 1) | |
| Vergabeverfahren | |
| Beschreibung des Loses | Titel: Los 1: 3D LIT-OBIRCH system (IMWS-2.1) Beschreibung: Das Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS erforscht das Anwendungsverhalten, die Zuverlässigkeit, Sicherheit und Lebensdauer innovativer Materialien in Komponenten und Systemen. Der Geschäftsbereich "Elektronische Materialien und Komponenten" des Fraunhofer IMWS unterstützt Industrie- und Forschungspartner mit seiner international anerkannten Expertise in der Fehleranalyse elektronischer Komponenten. Das Fraunhofer IMWS wird seine Fähigkeiten in der fortgeschrittenen Fehleranalyse und Materialcharakterisierung ausbauen, um die Entwicklung neuer heterogener Integrationstechnologien zu unterstützen und so die Herausforderungen in Fertigung und Zuverlässigkeit zu bewältigen. Das Fraunhofer IMWS verfügt über umfassende Erfahrung in der Anwendung und Entwicklung zerstörungsfreier thermischer Defektlokalisierungsverfahren für die Fehleranalyse, insbesondere bei Halbleitern für die Automobilelektronik, wo präzise zerstörungsfreie Prüfungen unerlässlich sind. Dank seiner langjährigen Erfahrung in der Entwicklung von Lock-in-Thermografieverfahren (LIT) und der Entwicklung fortschrittlicher Methoden zur Signalverarbeitung hat das Fraunhofer IMWS die Grenzen der LIT-Technologie kontinuierlich erweitert, um Auflösung und Empfindlichkeit zu verbessern, insbesondere für 2,5D-/3D-Bildgebung und moderne Verpackungsanwendungen. Um die Fehlerlokalisierungsmöglichkeiten bei 3D-Bauelementen und IC-Stacks weiter zu verbessern, ist die Integration eines kombinierten Lock-In-Thermografie- (LIT) und OBIRCH-Messsystems (Optical Beam Induced Resistance Change) geplant. Dies ermöglicht eine präzise Fehlerlokalisierung von Defekten mit thermischer Emission und zusätzlich die Lokalisierung von Fehlern ohne ausreichende thermische Emission, aber mit elektrischer Empfindlichkeit während einer optischen Anregung. Das System soll für die Entwicklung eigener Anwendungen zur erweiterten Signalverarbeitung der Messwerte offen sein, um die Empfindlichkeit und Auflösung bei 3D- und gestapelten Bauelementen zu verbessern. Diese Ausschreibung umfasst die Lieferung eines kombinierten LIT- und OBIRCH-Messsystems, einschließlich optionaler Funktionen, Software-Support, Dokumentation, Lieferung, Abnahmeprüfung und Garantie. |
| Umfang der Auftragsvergabe | Diese Auftragsvergabe ist besonders auch geeignet für kleinste, kleine und mittlere Unternehmen (KMU): Nein |
| Hauptklassifizierung (CPV-Code) | CPV-Code Hauptteil: 38511100-1 Weitere CPV-Code Hauptteile: 38512100-8 |
| Art der Auftragsvergabe | Art der strategischen Beschaffung: |
| Erfüllungsort | Postleitzahl / Ort: 06120 Halle NUTS-3-Code: DEE02 Land: Deutschland |
| Geschätzte Laufzeit | Laufzeit in Monaten: 14 |
| Verlängerungen und Optionen | |
| Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen | Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: Ja |
| Verwendung von EU-Mitteln | Die Auftragsvergabe wird zumindest teilweise aus Mitteln der Europäischen Union finanziert: Ja |
| Zusätzliche Informationen | |
| Bedingungen für die Einreichung eines Angebots | |
| Zuschlagskriterien | Qualitätskriterium technische Anforderungen, Beschreibung: technische Anforderungen, Gewichtung: 65,00 Preis, Beschreibung: Preis, Gewichtung: 35,00 |
| Elektronischer Katalog | Elektronischer Katalog: Nein |
| Informationen zur Richtlinie über saubere Fahrzeuge | Die Auftragsvergabe fällt in den Anwendungsbereich der Richtlinie 2009/33/EG des Europäischen Parlaments und des Rates (Richtlinie zur Förderung sauberer Fahrzeuge - CVD): Nein |
| Beschaffungsinformationen (Los 2) | |
| Vergabeverfahren | |
| Beschreibung des Loses | Titel: Los 2: SEM Scanning Electron Microscope (IMWS-3.1) Beschreibung: Das Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS erforscht das Anwendungsverhalten, die Zuverlässigkeit, Sicherheit und Lebensdauer innovativer Materialien in Komponenten und Systemen. Der Geschäftsbereich "Elektronische Materialien und Komponenten" des Fraunhofer IMWS unterstützt Industrie- und Forschungspartner mit seiner international anerkannten Expertise in der Fehleranalyse elektronischer Komponenten. Das Fraunhofer IMWS wird seine Fähigkeiten in der fortgeschrittenen Fehleranalyse und Materialcharakterisierung erweitern, um die Entwicklung neuer heterogener Integrationstechnologien zu unterstützen und so die Herausforderungen in Fertigung und Zuverlässigkeit zu bewältigen. Das Elektronenstrahl-Prober-System wird für die elektrische Fehlerisolierung moderner integrierter Schaltungen (unter 20 nm-Knoten) benötigt, ähnlich wie laserbasierte Prüfverfahren mit hochfrequenter aktiver Spannungskontrastdetektion mit nm-Auflösung. Die Hauptanwendung ist die Prüfung elektrischer Signale auf Transistorebene und das Auslesen logischer Zustände in IC-Strukturen und flüchtigen Speicherarrays, um Funktionsfehler zu identifizieren und Belastbarkeitstests gesicherter IC-Funktionen durchzuführen. Ein komplettes funktionsfähiges Elektronenstrahl-Prober-System soll inklusive Montage, Inbetriebnahme und allen notwendigen Anschlüssen, Teilen und Zulassungen/Zertifizierungen für den Betrieb angeboten werden. Die Komponenten und spezifischen Anforderungen sind unten aufgeführt. |
| Umfang der Auftragsvergabe | Diese Auftragsvergabe ist besonders auch geeignet für kleinste, kleine und mittlere Unternehmen (KMU): Nein |
| Hauptklassifizierung (CPV-Code) | CPV-Code Hauptteil: 38511100-1 Weitere CPV-Code Hauptteile: 38512100-8 |
| Art der Auftragsvergabe | Art der strategischen Beschaffung: |
| Erfüllungsort | Postleitzahl / Ort: 06120 Halle NUTS-3-Code: DEE02 Land: Deutschland |
| Geschätzte Laufzeit | Laufzeit in Monaten: 13 |
| Verlängerungen und Optionen | |
| Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen | Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: Ja |
| Verwendung von EU-Mitteln | Die Auftragsvergabe wird zumindest teilweise aus Mitteln der Europäischen Union finanziert: Ja |
| Zusätzliche Informationen | |
| Bedingungen für die Einreichung eines Angebots | |
| Zuschlagskriterien | Qualitätskriterium technische Anforderungen, Beschreibung: technische Anforderungen, Gewichtung: 65,00 Preis, Beschreibung: Preis, Gewichtung: 35,00 |
| Elektronischer Katalog | Elektronischer Katalog: Nein |
| Informationen zur Richtlinie über saubere Fahrzeuge | Die Auftragsvergabe fällt in den Anwendungsbereich der Richtlinie 2009/33/EG des Europäischen Parlaments und des Rates (Richtlinie zur Förderung sauberer Fahrzeuge - CVD): Nein |