Ausschreibung Analytic-Prober (IPMS-MRS11.4)

Vergabe PR863933-2480-P



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Vertragspartei und Dienstleister
BeschafferOffizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Identifikationsnummer: DE 129515865
Internet-Adresse (URL): https://vergabe.fraunhofer.de/
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postleitzahl / Ort: 80686 München
NUTS-3-Code: DE212
Land: Deutschland
Kontaktstelle: Einkauf Betrieb und Infrastruktur
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de
Telefon: +49891205-0
Art des öffentlichen Auftraggebers: Öffentliches Unternehmen
Haupttätigkeiten des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung
Beschafferprofil (URL): https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/
 Federführendes Mitglied: Ja
Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen vergibt/abschließt: Ja
Zentrale Beschaffungsstelle, die für andere Beschaffer bestimmte Lieferungen und/oder Dienstleistungen erwirbt: Nein
Verfahren
Zweck  
RechtsgrundlageRichtlinie 2014/24/EU
BeschreibungInterne Kennung: PR863933-2480-P
Titel: Analytic-Prober (IPMS-MRS11.4)
Beschreibung: Analytic-Prober (IPMS-MRS11.4)
Art des Auftrags: Lieferungen
Umfang der Auftragsvergabe  
Hauptklassifizierung (CPV-Code)  
 CPV-Code Hauptteil: 42990000-2
   
Angaben zum ErfüllungsortPostleitzahl / Ort: 01109 Dresden
NUTS-3-Code: DED21
Land: Deutschland
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots  
AusschlussgründeGrund: Mit Insolvenz vergleichbares Verfahren
Beschreibung:

Grund: Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung
Beschreibung:

Grund: Bildung krimineller Vereinigungen
Beschreibung:

Grund: Wettbewerbsbeschränkende Vereinbarungen
Beschreibung:

Grund: Verstöße gegen umweltrechtliche Verpflichtungen
Beschreibung:

Grund: Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung
Beschreibung:

Grund: Betrug oder Subventionsbetrug
Beschreibung:

Grund: Menschenhandel, Zwangsprostitution, Zwangsarbeit oder Ausbeutung
Beschreibung:

Grund: Zahlungsunfähigkeit
Beschreibung:

Grund: Verstöße gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen
Beschreibung:

Grund: Insolvenz
Beschreibung:

Grund: Täuschung oder unzulässige Beeinflussung des Vergabeverfahrens
Beschreibung:

Grund: Interessenkonflikt
Beschreibung:

Grund: Wettbewerbsverzerrung wegen Vorbefassung
Beschreibung:

Grund: Schwere Verfehlung
Beschreibung:

Grund: Mangelhafte Erfüllung eines früheren öffentlichen Auftrags
Beschreibung:

Grund: Verstöße gegen sozialrechtliche Verpflichtungen
Beschreibung:

Grund: Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Sozialversicherungsbeiträgen
Beschreibung:

Grund: Einstellung der beruflichen Tätigkeit
Beschreibung:

Grund: Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Steuern oder Abgaben
Beschreibung:

Grund: Bildung terroristischer Vereinigungen
Beschreibung:

Grund: Rein nationale Ausschlussgründe
Beschreibung:
Grenzübergreifende Rechtsvorschriften  
VerfahrenVerfahrensart: Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb
Zusätzliche Informationen  
Beschaffungsinformationen (allgemein)
Vergabeverfahren  
Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren (Vorinformation, ...)  
Bedingungen der AuktionEs wird eine elektronische Auktion durchgeführt: Nein
AuftragsvergabeverfahrenRahmenvereinbarung geschlossen: Keine Rahmenvereinbarung
 Angaben zum dynamischen Beschaffungssystem: Kein dynamisches Beschaffungssystem
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots  
Eignungskriterien  
 Eignung zur Berufsausübung
Beschreibung: siehe Vergabeunterlagen
Anhand der Kriterien werden die Bewerber ausgewählt, die zur zweiten Phase des Verfahrens eingeladen werden sollen: Ja
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Beschreibung:
Anhand der Kriterien werden die Bewerber ausgewählt, die zur zweiten Phase des Verfahrens eingeladen werden sollen: Ja
Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
Beschreibung:
Anhand der Kriterien werden die Bewerber ausgewählt, die zur zweiten Phase des Verfahrens eingeladen werden sollen: Ja
Sonstiges
Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien (URL): https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-194a81a8f48-1ac86578b5233723
Anhand der Kriterien werden die Bewerber ausgewählt, die zur zweiten Phase des Verfahrens eingeladen werden sollen: Ja
Vorgehen zur TeilnehmerauswahlDas Verfahren wird in mehreren aufeinanderfolgenden Phasen durchgeführt. In jeder Phase können einige Teilnehmer ausgeschlossen werden: Nein
Höchstzahl der zur zweiten Phase des Verfahrens einzuladenden Bewerber:
Mindestzahl der zur zweiten Phase des Verfahrens einzuladenden Bewerber:
Zuschlag auf das ErstangebotDer Auftraggeber behält sich den Zuschlag auf das Erstangebot vor: Nein
Weitere Bedingungen zur QualifizierungNachforderung von Unterlagen: Eine Nachforderung von Unterlagen nach Fristablauf ist nicht ausgeschlossen.
Zusätzliche Informationen: Siehe Vergabeunterlagen
Vorbehaltene AuftragsvergabeDie Teilnahme ist geschützten Werkstätten und Wirtschaftsteilnehmern, die auf die soziale und berufliche Integration von Menschen mit Behinderungen oder benachteiligten Personen abzielen, vorbehalten: Nein
NebenangeboteNebenangebote sind zulässig: Nein
Regelmäßig wiederkehrende Leistungen  
 Auftrag über regelmäßig wiederkehrende Leistungen: Nein
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Ja
Anforderungen für die Ausführung des Auftrags  
Reservierte VertragsdurchführungDie Auftragsausführung ist bestimmten Auftragnehmern vorbehalten: Nein
LeistungsbedingungenBedingungen für die Ausführung des Auftrags: Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter "Ausschreibungsbedingungen" aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Elektronische RechnungsstellungElektronische Rechnungsstellung: Ja
AnforderungenDie Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten Personals sind anzugeben: Nicht erforderlich
Verfahren nach der VergabeAufträge werden elektronisch erteilt: Ja
Zahlungen werden elektronisch geleistet: Ja
Organisation, die Angebote entgegennimmtoben genannte Kontaktstelle
Informationen zur Einreichung  
Fristen I  
 Frist für den Eingang der Teilnahmeanträge: 31.03.2025 10:00 Uhr
Bindefrist  
Sprachen der EinreichungSprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: DEU, ENG
Öffnung der Angebote  
 -ENTFÄLLT-
EinreichungsmethodeElektronische Einreichung: Ja
Adresse für die Einreichung (URL): https://vergabe.fraunhofer.de
AuftragsunterlagenDie Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter (URL): https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-194a81a8f48-1ac86578b5233723&
Verbindliche Sprachfassung der Vergabeunterlagen: DEU
Ad-hoc-Kommunikationskanal  
Organisation, die zusätzliche Informationen bereitstelltoben genannte Kontaktstelle
Überprüfung  
Fristen für NachprüfungsverfahrenInformationen über die Überprüfungsfristen: Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
Stelle für Rechtsbehelfs-/NachprüfungsverfahrenOffizielle Bezeichnung: Vergabekammern des Bundes
Identifikationsnummer: t:022894990
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16
Postleitzahl / Ort: 53113 Bonn
NUTS-3-Code: DEA22
Land: Deutschland
E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de
Telefon: +49 228 9499-0
Organisation, die Nachprüfungsinformationen bereitstelltOffizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Identifikationsnummer: DE-129515865
Internet-Adresse: (URL) https://www.fraunhofer.de
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postleitzahl / Ort: 80686 München
NUTS-3-Code: DE212
Land: Deutschland
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de
Telefon: +49 89 1205-0
Schlichtungsstelle  
Beschaffungsinformationen (speziell)
Vergabeverfahren  
Beschreibung der BeschaffungBeschreibung: 1 Stück Analytic-Prober

Automatisierter Wafer Prober für elektro-optische Tests. Dieser "Analytic Prober" wird für die Kontaktierung (Sondierung) von MEMS- und OLED-Halbleiterwafern und nackten Dies (z.B. QMI - Chiplets) in einem CMOS-kompatiblen Reinraum gemäß Klasse 4 EN ISO 14644-1 Produktionsumgebung eingesetzt. Er muss genügend Freiraum über dem kontaktierten DUT bieten, um dort mehrere optische Messgeräte präzise und dauerhaft zu platzieren.

Optionale Leistungspositionen:
1.5 Allgemeine Werkzeugbeschreibung Es wurden geeignete Maßnahmen getroffen, um eine elektrostatische Aufladung der Prüflinge zu verhindern. JA
2.1.3 Wafer Chuck Austauschbare Oberflächenerweiterung JA
2.1.17 Wafer Chuck Optional: Elektrische Entladung des Chucks: Eine Vorrichtung, die den Chuck automatisch vor und während des Ladens von Wafern vorübergehend entlädt JA
2.1.27 Wafer Chuck (Wafer-Futter) Optional: Für die X-Y-Theta-Ausrichtung sind alternative (zusätzliche) benutzerdefinierte Ziele möglich, falls das erste Ziel auf dem DUT fehlt. JA
2.2.15 Probing, Probe Card, Probe Cleaning Optional: automatische Probe Mark Inspection - unter Verwendung der oben erwähnten Top-Down-Kamera auf dem aktuell geladenen DUT YES
2.3.1.3 automatisch geladene 200mm-Wafer Optional: 200mm-Wafer können eine Kerbe an einer transparenten Waferkante aufweisen (z.B. ein durchmesserreduzierter CMOS-Wafer wird auf einen 200mm-Glaswafer mit einer Kerbe an der Glaskante gebondet). Bitte beachten Sie Abbildung 6. JA
2.3.1.7 automatisch geladene 200mm-Wafer "Optional: erweiterte min. mögliche Dicke für automatisch geladene 200mm-Wafer ist ≤ 400µm
" JA
2.3.1.8 automatisch geladene 200mm-Wafer "Optional: erweiterte max. mögliche Dicke für automatisch geladene 200mm-Wafer ist ≥2000µm
" JA
2.3.2.1 automatisch geladene 300mm Wafer Optional: 300mm FOSB (front opening shipping box) kann gehandhabt werden JA
2.3.2.2 automatisch geladene 300mm-Wafer Optional: 300mm FOUP (front opening unified pod) kann gehandhabt werden JA
2.3.2.8 automatisch geladene 300mm-Wafer Optional: erweiterte min. mögliche Dicke für automatisch geladene 300mm-Wafer ist ≤ 400µm JA
2.3.2.9 automatisch bestückte 300mm-Wafer Optional: erweiterte max. mögliche Dicke für automatisch bestückte 300mm-Wafer ist ≥ 2000µm JA
2.4.4.4 manuell bestückte Pocket-Wafer Optional: Die auf dem Pocket Wafer montierten Einzelchips werden automatisch X/Y/Theta-ausgerichtet und Z-profiliert (Chip-Alignment). Die Chips werden in einem festen X/Y-Raster (Toleranz ca. ±100µm) mit gleicher Z-Höhe angeordnet. Dieses Raster ist so konfiguriert, dass jeder Chip von mindestens einer Vakuumbohrung bedient wird. In Bezug auf die Ausrichtung der Chips ist diese Anordnung vergleichbar mit einem gewürfelten Wafer auf einem Sägerahmen. YES
7.1 Erweiterte Garantie Eine erweiterte Garantie von weiteren 24 Monaten sollte angeboten werden. Während der Garantiezeit sollten alle Kosten für Support, Reparatur und Ersatzteile abgedeckt sein. YES
Umfang der AuftragsvergabeDiese Auftragsvergabe ist besonders auch geeignet für kleinste, kleine und mittlere Unternehmen (KMU): Nein
Art der AuftragsvergabeArt der strategischen Beschaffung:
Geschätzte LaufzeitLaufzeit in Monaten: 23
Verlängerungen und Optionen  
Übereinkommen über das öffentliche BeschaffungswesenDie Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: Ja
Verwendung von EU-MittelnDie Auftragsvergabe wird zumindest teilweise aus Mitteln der Europäischen Union finanziert: Ja
Zusätzliche Informationen  
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots  
ZuschlagskriterienQualitätskriterium
Technische Ausführung, Beschreibung: Technische Ausführung, Gewichtung: 65,00

Preis, Beschreibung: Preis, Gewichtung: 35,00
Elektronischer KatalogElektronischer Katalog: Nein
Informationen zur Richtlinie über saubere FahrzeugeDie Auftragsvergabe fällt in den Anwendungsbereich der Richtlinie 2009/33/EG des Europäischen Parlaments und des Rates (Richtlinie zur Förderung sauberer Fahrzeuge - CVD): Nein