Ausschreibung Ionenimplantationsanlage
Vergabe PR468166-2790-W
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| This tender is only available in German. |
| Vergabenummer: | PR468166-2790-W |
| Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber | |
| I.1) Name und Adressen | Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 Postanschrift: Hansastraße 27c Postleitzahl / Ort: 80686 München Land: Deutschland NUTS-Code: DE212 Kontaktstelle(n): Einkauf Wissenschaftliche Geräte E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de |
| Internet-Adresse(n) | Hauptadresse: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/ |
| I.2) Gemeinsame Beschaffung | Der Auftrag wird von einer zentralen Beschaffungsstelle vergeben |
| I.3) Kommunikation | |
| Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-18a64919961-6cfaee161e3894be | |
| Weitere Auskünfte erteilt/erteilen | die oben genannten Kontaktstellen |
| Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen | elektronisch via: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de |
| I.4) Art des öffentlichen Auftraggebers | Andere: Forschung und Entwicklung |
| I.5) Haupttätigkeit(en) | Andere Tätigkeit: Forschung und Entwicklung |
| Abschnitt II: Gegenstand | |
| II.1) Umfang der Beschaffung | |
| II.1.1) Bezeichnung des Auftrags: | Ionenimplantationsanlage Referenznummer der Bekanntmachung: PR468166-2790-W |
| II.1.2) CPV-Code Hauptteil | 42990000-2 |
| II.1.3) Art des Auftrags | Lieferauftrag |
| II.1.4) Kurze Beschreibung: | Ionenimplantationsanlage |
| II.1.5) Geschätzter Gesamtwert | |
| II.1.6) Angaben zu den Losen | Aufteilung des Auftrags in Lose: Nein |
| II.2) Beschreibung | |
| II.2.2) Weitere(r) CPV-Code(s) | CPV-Code Hauptteil: |
| II.2.3) Erfüllungsort | |
| NUTS-Code: | DE2 |
| Hauptort der Ausführung: | Fraunhofer IISB Schottkystr. 10 91058 Erlangen Deutschland |
| II.2.4) Beschreibung der Beschaffung | 1 Stück Ionenimplantationsanlage Für die farbzentrenbasierte Quantentechnologie am IISB wird eine Implantationsanlage benötigt und soll daher im Rahmen einer strategischen Investition in Form einer Mehrstrahlanlage beschafft werden. Im Fokus steht eine Ionensäule (FIB), die mindestens Helium und Stickstoff als wählbare Spezies besitzt. Ein niedriger Helium-Ionenstrom (kleiner 10 µA) muss es ermöglichen ein 4H-SiC Substrate mit niedriger Ionendosis (sub-10 He-Ionen pro Spot) zu bestrahlen und so reproduzierbar einzelne VSi-Farbzentren zu erzeugen. Die Ionensäule muss einen geeigneten ExB-Filter und eine Neutralstromeliminierung besitzen. Zusätzlich soll die Anlage ein Time-of-Flight Sekundärionen-Massenspektrometer (TOF-SIMS) besitzen. Durch die Integration einer dritten Säule in Form eines Rasterelektronenmikroskops (REM) ist sowohl eine hochauflösende 2D und 3D Strukturanalyse als auch hochpräzise Positionierung der Probe unter den beiden Ionenstrahlen möglich. Die zu bearbeitenden Substrate haben Durchmesser von wenigen Millimetern bis hin zu 150 mm und sollen sowohl drehbar als auch kippbar in der Vakuumkammer montiert werden können. Alle Säulen sollen über voneinander unabhängige, elektro-pneumatisch angetriebene Blenden verfügen. Neben den zwei FIBs und dem REM integriert das System außerdem: - Gas-Injektion mit mindestens einem (1) unabhängigen Gas - Flood Gun zur Ladungskompensation - Sekundärelektronendetektoren - Zweite Ionensäule mit einer Flüssigmetallquelle (LMAIS) (optional) - Substratheizer zum ausheizen auf min. 600°C für 30min (optional) - Nano-Manipulator zur TEM-Lamellenpräparation (optional) Alle Bedienfunktionen müssen über eine Software angesteuert werden können, die auch eine Rezeptsteuerung umfasst. Optionen: O3.1 Option: Zusätzliches Gas-Injektions-System mit mindestens einem Gas mit Kapillare, autom. Düsenpositionierung und Temperatursteuerung. O3.2 Option: Ionensäule mit einer Flüssigmetallquelle (LMAIS) ausgestattet die mindestens Silizium- und Germaniumionen erzeugen, fokussieren und gegen eine Probe beschleunigen kann. O3.3 Option: Ein Substrathalter, der die Möglichkeit bietet Substrate auf 600°C zu erhitzen und die Temperatur eine halbe Stunde zu halten O3.6 Option Nano-Manipulator zum Liftout und/oder Rotation einer TEM Lamelle während der TEM-Lamellenpräparation O7.1 Option Eine Preisinformation für eine jährliche Wartung ist dem Angebot beizulegen. Der Abschluss eines Wartungsvertrages bleibt unabhängig von der Zuschlagserteilung optional |
| II.2.5) Zuschlagskriterien | Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium; alle Kriterien sind nur in den Beschaffungsunterlagen aufgeführt |
| II.2.6) Geschätzter Wert | |
| II.2.7) Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems | Laufzeit in Monaten: 3 Dieser Auftrag kann verlängert werden: Nein |
| II.2.10) Angaben über Varianten/Alternativangebote | Varianten/Alternativangebote sind zulässig: Nein |
| II.2.11) Angaben zu Optionen: | Optionen: ja Beschreibung der Optionen: Optionen: O3.1 Option: Zusätzliches Gas-Injektions-System mit mindestens einem Gas mit Kapillare, autom. Düsenpositionierung und Temperatursteuerung. O3.2 Option: Ionensäule mit einer Flüssigmetallquelle (LMAIS) ausgestattet die mindestens Silizium- und Germaniumionen erzeugen, fokussieren und gegen eine Probe beschleunigen kann. O3.3 Option: Ein Substrathalter, der die Möglichkeit bietet Substrate auf 600°C zu erhitzen und die Temperatur eine halbe Stunde zu halten O3.6 Option Nano-Manipulator zum Liftout und/oder Rotation einer TEM Lamelle während der TEM-Lamellenpräparation O7.1 Option Eine Preisinformation für eine jährliche Wartung ist dem Angebot beizulegen. Der Abschluss eines Wartungsvertrages bleibt unabhängig von der Zuschlagserteilung optional |
| II.2.12) Angaben zu elektronischen Katalogen | |
| II.2.13) Angaben zu Mitteln der Europäischen Union | Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: Nein |
| II.2.14) Zusätzliche Angaben: | |
| Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben | |
| III.1) Teilnahmebedingungen | |
| III.1.1) Befähigung zur Berufsausübung einschließlich Auflagen hinsichtlich der Eintragung in einem Berufs- oder Handelsregister | Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-18a64919961-6cfaee161e3894be |
| III.1.2) Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit | Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-18a64919961-6cfaee161e3894be |
| III.1.3) Technische und berufliche Leistungsfähigkeit | Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-18a64919961-6cfaee161e3894be |
| III.1.5) Angaben zu vorbehaltenen Aufträgen | |
| III.2) Bedingungen für den Auftrag | |
| III.2.2) Bedingungen für die Ausführung des Auftrags: | Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen. |
| III.2.3) Für die Ausführung des Auftrags verantwortliches Personal | |
| Abschnitt IV: Verfahren | |
| IV.1) Beschreibung | |
| IV.1.1) Verfahrensart | Offenes Verfahren |
| IV.1.3) Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem | |
| IV.1.6) Angaben zur elektronischen Auktion | |
| IV.1.8) Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA) | Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: Ja |
| IV.2) Verwaltungsangaben | |
| IV.2.1) Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren | |
| IV.2.2) Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge | Tag und Ortszeit: 20.10.2023 10:00 Uhr |
| IV.2.4) Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können | DE |
| IV.2.6) Bindefrist des Angebots | Das Angebot muss gültig bleiben bis: 18.12.2023 |
| IV.2.7) Bedingungen für die Öffnung der Angebote | Tag: 20.10.2023, Ortszeit: 10:00 Ort und Angaben über befugte Personen und das Öffnungsverfahren: entfällt |
| Abschnitt VI: Weitere Angaben | |
| VI.1) Angaben zur Wiederkehr des Auftrags | Dies ist ein wiederkehrender Auftrag: Nein |
| VI.2) Angaben zu elektronischen Arbeitsabläufen | Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert Die Zahlung erfolgt elektronisch |
| VI.3) Zusätzliche Angaben: | |
| VI.4) Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren | |
| VI.4.1) Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren | Offizielle Bezeichnung: VERGABEKAMMER Postanschrift: Villemombler Straße 76 Postleitzahl / Ort: 53123 Bonn Land: Deutschland |
| VI.4.2) Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren | Offizielle Bezeichnung: Postanschrift: Postleitzahl / Ort: |
| VI.4.3) Einlegung von Rechtsbehelfen | Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen: Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB). |
| VI.4.4) Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt | Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Postanschrift: Hansastraße 27c Postleitzahl / Ort: 80686 München Land: Deutschland E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de Internet-Adresse: (URL) https://www.fraunhofer.de |
| VI.5) Tag der Absendung dieser Bekanntmachung: | 05.09.2023 |