Vergebener Auftrag Fully automated tool CVD (IZM-136)
Vergabe PR1246546-3460-P
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| Vertragspartei und Dienstleister | |
| Beschaffer | Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 Identifikationsnummer: DE 129515865 Internet-Adresse (URL): https://vergabe.fraunhofer.de/ Postanschrift: Hansastraße 27c Postleitzahl / Ort: 80686 München NUTS-3-Code: DE212 Land: Deutschland Kontaktstelle: Einkauf Betrieb und Infrastruktur E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de Telefon: +49891205-0 Art des öffentlichen Auftraggebers: Öffentliches Unternehmen Haupttätigkeiten des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung Beschafferprofil (URL): https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/ |
| Federführendes Mitglied: Ja Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen vergibt/abschließt: Ja Zentrale Beschaffungsstelle, die für andere Beschaffer bestimmte Lieferungen und/oder Dienstleistungen erwirbt: Nein |
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| Verfahren | |
| Zweck | |
| Rechtsgrundlage | Richtlinie 2014/24/EU |
| Beschreibung | Interne Kennung: PR1246546-3460-P Titel: Fully automated tool CVD (IZM-136) Beschreibung: Fully automated tool CVD (IZM-136) Art des Auftrags: Lieferungen |
| Umfang der Auftragsvergabe | |
| Hauptklassifizierung (CPV-Code) | |
| CPV-Code Hauptteil: 31712100-1 | |
| Erfüllungsort | Postleitzahl / Ort: 01468 Dresden-Moritzburg NUTS-3-Code: DED2E Land: Deutschland |
| Bedingungen für die Einreichung eines Angebots | |
| Grenzübergreifende Rechtsvorschriften | |
| Einzelheiten zum Verfahrenstyp | |
| Verfahrensart | Verfahrensart: Verhandlungsverfahren ohne Teilnahmewettbewerb |
| Direktvergabe | Begründung der Direktvergabe: Bedarf an zusätzlichen Bauleistungen oder Dienstleistungen durch den ursprünglichen Auftragnehmer Sonstige Begründung: siehe Begründungsschreiben / Patente |
| Einstellung des Wettbewerbs | Der Aufruf zum Wettbewerb ist beendet: Nein |
| Zusätzliche Informationen | |
| Beschaffungsinformationen (allgemein) | |
| Vergabeverfahren | |
| Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren (Vorinformation, ...) | |
| Bedingungen der Auktion | Es wird eine elektronische Auktion durchgeführt: Nein |
| Auftragsvergabeverfahren | Rahmenvereinbarung geschlossen: Keine Rahmenvereinbarung |
| Angaben zum dynamischen Beschaffungssystem: Kein dynamisches Beschaffungssystem | |
| Organisation, die zusätzliche Informationen bereitstellt | oben genannte Kontaktstelle |
| Überprüfung | |
| Fristen für Nachprüfungsverfahren | |
| Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren | Offizielle Bezeichnung: Vergabekammern des Bundes Identifikationsnummer: t:022894990 Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16 Postleitzahl / Ort: 53113 Bonn NUTS-3-Code: DEA22 Land: Deutschland E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de Telefon: +49 228 9499-0 |
| Organisation, die Nachprüfungsinformationen bereitstellt | Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Identifikationsnummer: DE-129515865 Internet-Adresse: (URL) https://www.fraunhofer.de Postanschrift: Hansastraße 27c Postleitzahl / Ort: 80686 München NUTS-3-Code: DE212 Land: Deutschland E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de Telefon: +49 89 1205-0 |
| Schlichtungsstelle | |
| Beschaffungsinformationen (speziell) | |
| Vergabeverfahren | |
| Beschreibung der Beschaffung | Beschreibung: 1x Fully automated tool CVD Die folgende Ausrüstungsspezifikation definiert einen vollautomatischen Cluster für die CVD-Abscheidung hochwertiger dielektrischer Schichten wie SiO₂ mit ausgezeichneter Liner-Konformität für extrem hohe Aspektverhältnisse, wie sie in TSV-Anwendungen zum Einsatz kommen, sowie mit vollständiger, porenfreier und nahtloser Füllung winziger, unregelmäßig geformter Hohlräume (Lücken) mit komplexen Profilen und extremen Abmessungen. Vor dem Prozess werden die Wafer in Front Opening Unified Pods (FOUPs) an das Gerät geliefert, die vom Bediener manuell auf die jeweiligen Ladeöffnungen gesetzt werden. Das Gerät muss in der Lage sein, die folgende Abfolge von Schritten vollautomatisch auszuführen: • Entnahme bestimmter Wafer aus dem FOUP • Durchführung von SACVD- und/oder PE-Prozessen • Rückführung der Wafer in die Ausgangsposition in den FOUP Die Programmierung von Rezepturen muss innerhalb eines geeigneten Bereichs von Optionen und Parametern möglich sein, wie es für Forschung und Entwicklung (F&E) erforderlich ist. Das zu beschaffende System mit neuen SACVD- und PECVD-Modulen der neuesten Generation für dielektrische Prozesse ermöglicht die Abscheidung von Oxidschichten in TSVs mit hohem Aspektverhältnis (Liner-Füllung), Damaszener-Oxid-RDL (z. B. für das Hybridbonden) sowie dielektrische Spaltfüllschichten im Hinblick auf das Die-to-Wafer-Bonden. Dabei ermöglicht die Handhabung die Bearbeitung von verdünnten und/oder gebondeten Wafern sowie Glaswafern (2,5D/3D-Systeme) mit starker Verwindung und Wölbung. Optionale Features: - Substratspezifikation LV-Pos.1.25 - SA-/PE-CVD, dielektrische Liner, TSVs und Tranches, hohes Seitenverhältnis LV-Pos. 3.17 - PECVD-Oxid, dielektrische Lückenfüllung bei niedrigen Temperaturen für unregelmäßige und komplexe Profile LV-Pos. 4.17 |
| Umfang der Auftragsvergabe | |
| Art der Auftragsvergabe | Art der strategischen Beschaffung: |
| Erfüllungsort | |
| Geschätzte Laufzeit | Datum des Beginns: 06.12.2027 Enddatum der Laufzeit: 10.12.2027 |
| Verlängerungen und Optionen | |
| Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen | Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: Ja |
| Verwendung von EU-Mitteln | Die Auftragsvergabe wird zumindest teilweise aus Mitteln der Europäischen Union finanziert: Ja |
| Zusätzliche Informationen | |
| Bedingungen für die Einreichung eines Angebots | |
| Zuschlagskriterien | Qualitätskriterium Technische Ausführung, Beschreibung: Technical Specification, Gewichtung: 65,00 Preis, Beschreibung: Preis, Gewichtung: 35,00 |
| Informationen über die Anwendbarkeit von EED | EED anwendbar: Nein |
| Informationen zur Richtlinie über saubere Fahrzeuge | Die Auftragsvergabe fällt in den Anwendungsbereich der Richtlinie 2009/33/EG des Europäischen Parlaments und des Rates (Richtlinie zur Förderung sauberer Fahrzeuge - CVD): Nein |
| Ergebnis | |
| Ergebnisse der Beschaffung | |
| Zuschlagsstatus | |
| Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt | |
| Eingegangene Einreichungen - Statistik | |
| Anzahl der eingegangenen Angebote: 1 | |
| Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 0 | |
| Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0 | |
| Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0 | |
| Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 1 | |
| Gewinner 1 | |
| Bieter | Offizielle Bezeichnung: Applied Materials GmbH |
| Vergabe von Unteraufträgen | Vergabe von Unteraufträgen: Nein |
| Auftrag | Datum des Vertragsabschlusses: 06.10.2026 |
| Bieter | |
| Offizielle Bezeichnung: Applied Materials GmbH Identifikationsnummer (Umsatzsteuer-ID): DE129287217 Postanschrift: Buchenstrasse 16 b Postleitzahl / Ort: 01097 Dresden NUTS-3-Code: DED21 Land: Deutschland E-Mail: thomas_passler@amat.com Telefon: +49 351 8002383 Fax: Unternehmensgröße: Großunternehmen Der Gewinner ist börsennotiert: Nein | |